Keithley吉時(shí)利6517B 靜電計(jì)/高阻表

 主要特點(diǎn):

• 電阻測(cè)量可達(dá)10¹⁸ Ω
• 電流測(cè)量范圍10aA - 20mA
• 小電流量程輸入端壓降<20μV
• 200TΩ 輸入阻抗
• <3fA 偏置電流
• 測(cè)試速率高達(dá)425 rdgs/s
• 噪聲0.75fA p-p
• 內(nèi)置±1kV電壓源
• *的高電阻測(cè)量電壓反接方法
• 可選的插件式掃描卡

出眾的性能指標(biāo)

半機(jī)架型6517B靜電計(jì)/高阻表具有特殊的低 電流輸入放大器，其輸入偏置電流<3fA，噪聲僅 0.75fA p-p (峰-峰) ，輸入端壓降<20μV。對(duì)于 接近理想的電路負(fù)載，其電壓和電阻測(cè)量的輸入 阻抗是200TΩ。這些性能指標(biāo)確保物理、光學(xué)、納米技術(shù)和材料科學(xué)等研究領(lǐng)域低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測(cè)量所需的準(zhǔn)確 度和靈敏度。內(nèi)置±1kV的電壓源具有掃描能力，從而簡化漏流測(cè)試、擊穿電壓測(cè)試 和電阻測(cè)試，以及絕緣材料的體電阻率(Ω-cm) 及表面電阻率(Ω/square) 的測(cè)量。

測(cè)量范圍寬

6517B型靜電計(jì)/高阻表具有全自動(dòng)量程，超過電流、電阻、電壓和電荷測(cè)量滿量程：
• 電流測(cè)量范圍：10aA - 20mA
• 電壓測(cè)量范圍：1μV - 200V
• 電阻測(cè)量范圍：1Ω - 10¹⁸Ω
• 電荷測(cè)量范圍：1fC - 2μC

改進(jìn)的高靈敏度測(cè)量

許多測(cè)試應(yīng)用要求測(cè)量高級(jí)別材料的電阻率（面電阻率和體電阻率）。傳統(tǒng)測(cè) 量方法是對(duì)樣本施加足夠高的電壓，測(cè)量流經(jīng)樣本的電流，然后利用歐姆定律(R=V /I)計(jì)算其電阻。雖然高阻材料和器件產(chǎn)生很小的電流，很難準(zhǔn)確進(jìn)行測(cè)量，但利用 吉時(shí)利靜電計(jì)和皮安計(jì)則可以成功地進(jìn)行這種測(cè)量。

即使利用高精度儀器，材料中固有的背景電流使得進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量較為 困難。由于壓電效應(yīng)、電容效應(yīng)和偏振效應(yīng)，絕緣材料、聚合物和塑料通 常都顯示出背景電流。這些背景電流一般等于或大于施加電壓產(chǎn)生的電流。 在這些情況下，其測(cè)量結(jié)果往往是不穩(wěn)定的，生成不準(zhǔn)確的電阻或電阻率 讀數(shù)甚至錯(cuò)誤的負(fù)值。吉時(shí)利6517B型靜電計(jì)/高阻表旨在解決這些問題， 并為各種材料和元件提供一致、可重復(fù)和準(zhǔn)確的測(cè)量，特別是與8009型電 阻測(cè)試夾具一起使用時(shí)。

變換極性法

6517B型靜電計(jì)/高阻表使用變換電極法，實(shí)際上消除了樣本的背景電 流。并剔除背景電流的一級(jí)和第二級(jí)漂移。變換電極法施加一個(gè)正極性 電壓，然后在延遲（測(cè)量時(shí)間）后測(cè)量電流。接著，改變電壓極性， 使用相同的延遲，重新測(cè)量電流。連續(xù)重復(fù)這個(gè)過程，并根據(jù)4個(gè)電 流測(cè)量結(jié)果的加權(quán)平均值計(jì)算出電阻。對(duì)大多數(shù)材料來說，通過7次反轉(zhuǎn)(即 舍棄前三個(gè)讀數(shù))，這個(gè)方法通常生成可高度重復(fù)、準(zhǔn)確的電阻（或電阻 率）測(cè)量結(jié)果。例如，利用8009型測(cè)試夾具0.3%的重復(fù)度，可對(duì)1mm厚 的1014Ω-cm材料樣本進(jìn)行測(cè)量，在15秒測(cè)試周期內(nèi)其背景電流低于200fA。

與數(shù)字多用表類似的簡單操作

6517B型靜電計(jì)/高阻表采用與數(shù) 字多用表類似的簡易操作，可通過前 面板，利用單一按鈕控制電阻測(cè)量等 重要功能。還可以通過內(nèi)置IEEE-488 接口實(shí)施控制，因此，可利用計(jì)算機(jī) 控制器通過總線對(duì)所有功能進(jìn)行編程。

Keithley吉時(shí)利6517B 靜電計(jì)/高阻表高精度高阻測(cè)量

6517B型靜電計(jì)/高阻表的諸多特 性和能力有助于確保高阻測(cè)量應(yīng)用的 準(zhǔn)確度。例如，其內(nèi)置電壓源簡化了 絕緣器電阻率和所用電源電壓電平之 間關(guān)系的確定。它還非常適合電容器 泄漏和絕緣電阻測(cè)量、印刷電路板表 面絕緣電阻測(cè)試、電阻器電壓系數(shù)測(cè) 試以及二極管泄漏特性分析。

溫度和濕度測(cè)試

濕度和溫度可能嚴(yán)重影響材料的 電阻率值。為了幫助您準(zhǔn)確比較在不 同情況下測(cè)得的讀數(shù)，6517B型靜電 計(jì)/高阻表提供內(nèi)置K型熱電偶和一個(gè) 可選的6517-RH型相對(duì)濕度探頭。其 內(nèi)置數(shù)據(jù)存儲(chǔ)緩沖器允許記錄和調(diào)用 具有時(shí)間、溫度和相對(duì)濕度Stamping 的讀數(shù)。

附件擴(kuò)展測(cè)量能力

利用多種可選附件，可以擴(kuò)展 6517B型靜電計(jì)/高阻表的應(yīng)用，并改 進(jìn)其性能。

掃描卡。利用兩張掃描卡，可以簡化 多個(gè)信號(hào)的掃描。每張卡都可以輕松 插入儀器后面板的插槽。6521型掃描 卡提供10個(gè)低電平電流掃描通道。 6522型掃描卡提供10個(gè)高阻抗電壓開 關(guān)或低電流開關(guān)通道。

測(cè)試夾具。8009型電阻率夾具是一款 受保護(hù)的測(cè)試夾具，用于樣本材料的 體電阻率和表明電阻率測(cè)量。它包括 按ASTM標(biāo)準(zhǔn)構(gòu)建的不銹鋼電極。該 夾具的電極尺寸已在6517B型靜電計(jì) /高阻表預(yù)編程，因此無需計(jì)算其數(shù) 值，可以稍后手動(dòng)輸入。這個(gè)附件旨 在保護(hù)用戶避免接觸潛在的危險(xiǎn)電壓 ——自動(dòng)開啟夾具蓋，關(guān)閉6517B型 靜電計(jì)/高阻表電壓源輸出。

應(yīng)用

6517B型靜電計(jì)/高阻表非常適合物 理、光學(xué)、納米技術(shù)和材料科學(xué)等研究 領(lǐng)域的低電流和高阻抗電壓、電阻和電 荷測(cè)量。其極低的電壓降非常適合太陽 能電池測(cè)量，其內(nèi)置電壓源和低電流靈 敏度使之成為基于聚合物的納米線等高 阻測(cè)量的出眾解決方案。其高速和易用 性使之成為質(zhì)量控制、產(chǎn)品工程和生產(chǎn) 測(cè)試（包括漏流、擊穿和電阻測(cè)試）應(yīng) 用的*選擇。利用6517B型靜電計(jì)/高 阻表的電壓反轉(zhuǎn)方法，可以大幅改進(jìn)對(duì) 絕緣材料的體電阻率和表面電阻率測(cè)量。 6517B型靜電計(jì)/高阻表還非常適合電化 學(xué)應(yīng)用，如離子選擇性電極和pH測(cè)量、 電導(dǎo)電池和電勢(shì)測(cè)定。

改進(jìn)型6517B靜電計(jì)/高阻表

6517B型靜電計(jì)/高阻表是一款升 級(jí)型號(hào)，用于取代1996年推出的6517A 型儀器。利用SCPI指令為6517A型儀器 建造的軟件應(yīng)用程序無需任何修改即可 用于6517B型靜電計(jì)/高阻表。不過，同 早期的6517A設(shè)計(jì)相比，6517B型靜電 計(jì)/高阻表進(jìn)行了一些改進(jìn)。其內(nèi)部電 池供電的內(nèi)存緩存可存儲(chǔ)高達(dá)50,000個(gè) 讀數(shù)，允許用戶更長時(shí)間地記錄測(cè)試結(jié) 果，并存儲(chǔ)更多與讀數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)。該 新型儀器還為內(nèi)部緩存提供更快的讀取 速度(高達(dá)425讀數(shù)/秒)，還可通過IEEE 總線存入外部存儲(chǔ)器(速度高達(dá)400讀數(shù) /秒)。為了滿足現(xiàn)代連接和安全需求， 6517B型還連接器進(jìn)行了幾處改動(dòng)。